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为什么ITO薄膜高温后电阻率上升

网站编辑:宽屏壁纸网 发布时间:2022-08-13  点击数:
导读:为什么ITO薄膜高温后电阻率上升 fresan 1年前他留下的回答 已收到1个回答 泛滥秦淮 网友 该名网友总共回答了16个问题,此问答他的回答如下:采纳率:93.8...

为什么ITO薄膜高温后电阻率上升

fresan 1年前他留下的回答 已收到1个回答

泛滥秦淮 网友

该名网友总共回答了16个问题,此问答他的回答如下:采纳率:93.8%

suxilin111 at 2009-8-31 10:41:49通点氧气试试jinyu2100 at 2009-9-02 10:23:12ITO 薄膜高温处理的目的一般是为了提高薄膜的透过率,但是同时也会引起电阻增加,这就是一个平衡的问题了.但是一般电阻不会增加太多,应该在可以接受的范围.如果增加太多,可以考虑通一点氧气,或者调整一下镀膜时氧气流量.lmxzsu2009 at 2009-9-03 20:31:13RE:在高温下退火后,ITO非晶膜的原子重组,形成比较稳定的多晶结构,ITO薄膜的晶粒变大而且均匀,从而影响了导电性能.具体原理参照半导体物理的内容.semicond at 2009-9-29 16:45:08受启发,谢谢分享!

1年前他留下的回答

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